書込方法

nMOSFETチャネルで発生させたホット・エレクトロンが側壁スペーサー内に注入される。

Image

読出し方法

側壁スペーサーに捕獲された電子からの電界により、VtがシフトしON電流が減少する。

Image

消去方法

ゲートに負電圧を印加することにより、ホット・ホールを側壁スペーサーに注入して捕獲されていた電子を中和することが出来る。

Image

書込動作

差動対をなす2個のMOSFETのうち片側のみに電流を流してホット・エレクトロンを発生させる。

Image

読出し動作

左右両側のビット線をプリチャージさせた状態からワード線を選択すると両側のMOSFETに電流が流れ始めるが、左右に生じた電流差をアンプで増幅して1ビットのデータを読み出す。

Image

消去動作

消去時には全てのワード線に負電圧を印加することで、ブロック全体を一括消去することが出来る。

Image
ホーム / 技術情報 / 当社不揮発メモリの動作原理
↑ TOP